| 品牌：TMC | 型号：STAGE-BaseTM450 | 别名：搁隔振系统 |
| 规格：详见说明 | 用途：Stage-Base 450是专门设计用于具有高精度电动x-y平台的***半导体工具的主要振动隔离系统 |
STAGE-BaseTM450 混合压电陶瓷/ 音圈电机主动隔振系统
特点：
采用STACIS技术
采用可扩展的压电陶瓷致动器
负载的位置可重复性在微米范围内
可安装的框架设计
6个隔振自由度
可选的音圈电机前馈或反馈
主动隔振从0.6 Hz开始
快速的调节时间来响应平台运动
没有气浮支撑
通过USB2.0与电脑的图形用户界面GUI连接的高速数字控制器
操作简单、性能稳健，性价比高
为了满足放置在振动隔离系统上的半导体设备严格的隔振要求，TMC继续推进技术进步来开发新的解决方案。 Stage-Base 450是专门设计用于具有高精度电动x-y平台的***半导体工具的主要振动隔离系统。这种仪器需要非常 gao 效 的振动隔离，同样他们也要求通过快速设置移动平台来减小负载从而很大的提高隔振效率。由于用于快速设置调节时间来进一步增加隔振效率的前馈控制音圈电机的加入，使其成为用于运动平台应用的***的主动振动和运动隔离系统。
模拟 VC-C (500 μin./s, 12.5 μm/s)振动测试，负载为1540磅 (700 kg)
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